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MEMS用高真空密封機(jī)

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上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

德國(guó)

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1327

產(chǎn)品介紹

技術(shù)規(guī)格：

1. 兩個(gè)加熱區(qū)域，每區(qū)域直徑200mm、6組件適配器；

2. 腔體高度：100mm；

3. 底部加熱：450攝氏度(選配600度)，頂部加熱：200攝氏度；

4. 升溫速率：20度/分鐘 (真空環(huán)境)；

5. 降溫速率：20度/分鐘 (真空環(huán)境)；

6. 真空度：10exp-6 hPa；

7. 軟件Unisoft包括USB接口；

8. 可儲(chǔ)存20程序，每程序包括100步；

9. 尺寸：550 x 500 x 1060 mm (WxHxD)；

10.重量：105Kg；

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