粉體行業(yè)在線展覽
噴射管
面議
盾源聚芯
噴射管
654
應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路高溫和沉積設(shè)備中, 在晶圓高溫工藝和沉積工藝過(guò)程中,Si injector是將化學(xué)氣體輸入設(shè) 備內(nèi)部的關(guān)鍵部件,是晶圓高溫和沉積環(huán)節(jié)所必需的核心部件。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1、采用一體鉆孔工藝/SiFusion工藝
2、可實(shí)現(xiàn)孔徑3 -14mm、任意長(zhǎng)度的定制加工
3、原材料純度高
4、表面金屬離子殘留達(dá)到硅片處理工藝所要求
5、相同熱膨脹系數(shù)