粉體行業(yè)在線展覽
8-12寸硅舟
面議
盾源聚芯
8-12寸硅舟
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技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1.可進(jìn)行硅舟結(jié)構(gòu)的定制化設(shè)計(jì),包括溝棒形狀,溝齒長(zhǎng)度、形狀、傾斜角度,以及硅舟的總載片量。
2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷,提升制程良率。
3.熔接硅舟可以對(duì)損壞部件進(jìn)行更換,降低持有成本。
4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限,可以有效減少設(shè)備PM頻率,提升產(chǎn)能。
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