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 外延石英軸用于控制半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中的托盤或樣品架的上下移動。其主要用途包括提供精確的位置調(diào)節(jié)，以適應(yīng)不同工藝步驟的需求；支持樣品架或托盤在不同工作站之間的快速和準(zhǔn)確的轉(zhuǎn)移；確保在工藝過程中對樣品的精確處理和定位，從而實現(xiàn)高效的生產(chǎn)流程和優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品制造。