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高純石墨器件要求高，制備成本較高，制備周期較長，生產(chǎn)工序主要包括原料破碎、煅燒、磨粉、配料、混合、軋輥、磨粉、雙面壓/等靜壓、焙燒、浸漬、石墨化、機加工、檢驗等，其中需要多次焙燒和浸漬。我司提供的高純石墨部件涵蓋了石墨坩堝/石墨發(fā)熱桶/石墨舟/石墨棒/石墨桿/石墨柱/石墨紙等石墨制品，廣泛應用于半導體晶體生長、外延、離子注入、等離子蝕刻等制造工藝中。