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PECVD石墨舟

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佛山市鉅盛石墨制品有限公司

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品牌：

鉅盛石墨

型號(hào)：

PECVD石墨舟

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產(chǎn)品介紹

采用當(dāng)下*有優(yōu)勢(shì)的高精密加工設(shè)備，配備專業(yè)工藝人員，保障使用中硅片表面不產(chǎn)生“彩片”

應(yīng)用場(chǎng)景：?jiǎn)尉Ч杵练e鍍膜

優(yōu)點(diǎn)

1.采用當(dāng)下*有優(yōu)勢(shì)的高精密加工設(shè)備，配備專業(yè)工藝人員，保障使用中硅片表面不產(chǎn)生“彩片”。

2.采用提純等靜壓石墨材料制作，雜質(zhì)含量低，強(qiáng)度高。

3.陶瓷組裝件采用99.9陶瓷，防腐蝕性能強(qiáng)，不易爆裂。

4.執(zhí)行嚴(yán)格的全工序品質(zhì)控制，保證每個(gè)配件的精度。

5.能完全匹配主流設(shè)備廠商的沉積爐型。

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PECVD石墨舟

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