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Solid SiC系列

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湖南德智新材料股份有限公司

湖南

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

湖南德智

型號(hào)：

Solid SiC系列

關(guān)注度：

293

產(chǎn)品介紹

德智新材產(chǎn)品涵蓋碳基、陶瓷及其高端材料，應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造各個(gè)環(huán)節(jié)，如單晶生長(zhǎng)、外延、刻蝕、擴(kuò)散、CVD、PVD等。產(chǎn)品性能媲美海外SiC耗材先進(jìn)友商，助力高端制造國(guó)產(chǎn)化。

應(yīng)用場(chǎng)景

晶圓制造

? 外延

? 擴(kuò)散

? 刻蝕

實(shí)現(xiàn)技術(shù)

? 精密加工（石墨）	? 低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）
? 精密加工（β-SiC）

性能要求

? 致密度高	? 電阻率可控	? 高純度
? 高導(dǎo)熱	? 耐腐蝕

應(yīng)用領(lǐng)域

? LED光電

? 集成電路

? 第三代半導(dǎo)體

產(chǎn)品咨詢

Solid SiC系列

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應(yīng)用場(chǎng)景

實(shí)現(xiàn)技術(shù)

性能要求

應(yīng)用領(lǐng)域