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一、產(chǎn)品概述：
分子束外延（MBE）法是生產(chǎn)砷化鎵外延片的方法之一，該法可制出多元、多層、同質(zhì)、異質(zhì)、超晶格和量子阱等結(jié)構(gòu)的外延材料。晶體純度高，化學穩(wěn)定性好。
二、主要特點：
1. 可制作大規(guī)格坩堝（**直徑12inch，**高度17inch）；
2. 密度高（**可達2.2g/cm3）；
3. 純度高（>99.99%）；
4.不易開裂（層間強度高）。
三、產(chǎn)品應(yīng)用：
主要用于MBE法合成半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物。