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InVue? GV148 液體濃度監(jiān)測器

InVue GV148

直接聯(lián)系

上海奧法美嘉生物科技有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

1-5萬元

品牌:

Entegris

型號:

InVue GV148

關(guān)注度:

4377

產(chǎn)品介紹

InVueGV148 液體濃度監(jiān)測器

集成一體的實時過程監(jiān)控系統(tǒng)


InVueGV148液體濃度監(jiān)控器可以實時提供測量過程流體的濃度,用于化學(xué)混合、提升濃度和稀釋,無需中斷過程檢測。


InVue®GV148液體濃度監(jiān)控器集成在一個小型密封外殼中,可提供性價比高的濃度監(jiān)測,使前端(FEOL)、后端(BEOL)和工廠生產(chǎn)系統(tǒng)的工藝效率提高。這種工藝可以使過程控制更為嚴(yán)格, 從而提高工藝效率,減少成本投入,也減少廢料的產(chǎn)生。


用戶軟件強大


采用基于Windows®的HMI軟件應(yīng)用程序來支持 GV148配置和實時監(jiān)控。該軟件允許用戶:


·獲得實時折射率、流體溫度和濃度信息

·自定義折射率以及濃度切換

·獲取和分析化學(xué)品特定溫度補償?shù)臄?shù)據(jù)

·傳感器平衡操作

·查看當(dāng)前警告信息、系統(tǒng)事件和警告歷史信息

·折射率歸零

·配置模擬輸出


經(jīng)過驗證的折射率檢測技術(shù)


GV148監(jiān)測儀采用經(jīng)過驗證的折射率檢測技術(shù),外觀小巧,可提供準(zhǔn)確、安全和可重復(fù)的液體濃度測量方法。在線傳感器可精確測量過程流體的折射率(IoR)和溫度。然后,我們將利用這些信息 來計算工藝中液體的濃度。


工作原理


使用折射率技術(shù),當(dāng)光從平面玻璃或液體表面反 射到光電二極管檢測器(PDA)時,InVue®GV148 濃度監(jiān)測器開始工作。反射角是由液體與窗口之 間的折射率比決定的。定制的算法可以檢測反射 光強度的微小變化。這種可以反射幾何形狀的能 力和小型化設(shè)計是InVue®GV148的重大特點。


image.png


應(yīng)用領(lǐng)域


·H2 O2 溶液混合

·研磨液稀釋

·專有添加劑混合

·全球和本地循環(huán)監(jiān)控

·批量溶液混合監(jiān)控

·容器壽命檢測

·CMP后清潔溶液混合


功能與優(yōu)勢


基于折射率的測量

為過程控制提供實時濃度和溫度驗證

快速響應(yīng)時間,用于即時偏差檢測

測量各種介質(zhì)中的濃度,包括非導(dǎo)電流體

非直接接觸式,保持化學(xué)物質(zhì)純度和潔凈度

符合在線工藝效率要求

含氟聚合物和藍寶石的超純潤濕表面保持化學(xué)物質(zhì)的純度和潔凈
小巧型電子產(chǎn)品

*小化整體工具體積

輕松集成到新的和現(xiàn)有的工具空間

HMI軟件

實時數(shù)據(jù)記錄和分析工具

允許為定制專有化學(xué)品濃度監(jiān)測

用于密切監(jiān)控系統(tǒng)事件,參數(shù)變化和警報歷史,包括詳細(xì) 的事件日志

多種通信選項

RS485、RS422、4-20mA

靈活滿足各種控制系統(tǒng)

全密封傳感器在惡劣的環(huán)境中依舊提供準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和可靠性
背景光扣除算法在背景光存在的情況下依舊保持高準(zhǔn)確性
傳感器無耗材只需要*少的硬件和預(yù)防性維護
鏡面清潔端口便于手動清潔藍寶石鏡面
LED狀態(tài)燈提供監(jiān)視器頻次、通信和錯誤的指示

可選的N2/DI自動*

原位鏡面清潔器

**限度地減少維護停機時間,特別是在研磨液和親水性化學(xué)品中

























*配備適當(dāng)?shù)拈y門和控制器


功能與優(yōu)勢


傳感器結(jié)構(gòu)材料流動池主體聚四氟乙烯(PTFE)*
光學(xué)鏡面單晶藍寶石*
電纜護套聚氯乙烯(PVC)
閥蓋、外殼聚偏氟乙烯(PVDF)
安裝板聚丙烯(PP)
電器設(shè)備電纜連接19 pin Turck® male
額定電流啟動時1.0A ; 操作期間0.5A
主電壓輸入24 VDC
IO電壓輸入12 ? 24 VDC
短路保護
外部LED4
模擬輸出4 ? 20 mA 濃度、流體溫度、折射率(RI)
離散數(shù)字輸入2
離散數(shù)字輸出** 2.80 mAdc (各個部件)
復(fù)位數(shù)字輸入、串行命令或HMI軟件
串行通信**壓力80psi 40℃(104°F)
工藝流體溫度范圍20°C to 40°C(68°to104°F)
環(huán)境溫度范圍20°C to 35℃(68°to95°F)
儲存溫度范圍-15°C to 40°C(5°to 104°F)
折射率檢測折射率檢測范圍** 1.32-1.40 nD
準(zhǔn)確性±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD)
重復(fù)性5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液體中)
精度3×10-6nD(@20°C[68°F]純水中)
響應(yīng)時間<3sec 對63%穩(wěn)態(tài)變化的非平均響應(yīng)時間
趨勢變化<5×10-5nD/30days(@20℃[68°F])
壓力敏感度(典型)8×103 nD/psig(@20°C[68°F]純水中)
符合ROHS標(biāo)準(zhǔn)符合
附件IP54
培訓(xùn)一次





































*親水性的組件

**對于折射率超出此范圍的流體,請聯(lián)系奧法美嘉


配置


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入口/出口連接端口尺寸

ABC
1/4"Flaretek管配件114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")111.0mm(4.37")
3/8Flaretek管配件117.7mm(4.64")34.7mm(1,.37")113.5mm(4.47")
1/2"Flaretek管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")119.6mm(4.71")
3/4"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")132.6mm(5.22")
1"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")154.9mm(6.10")
1/2"Primelock管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")122.9mm(4.84")
1"Primelock管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")149.6mm(5.891)
1/4"支柱管接頭114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")100.5mm(3.96")
3/8"支柱管接頭117.7mm(4.64")34.7mm(I.37")112.5mm(4.43")
3/4"支柱管接頭126.6mm(4.99)38.9mm(1.53")134.5mm(5.29")


















訂購須知

InVue GV148液體濃度監(jiān)測器:配件號


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配件編號描述
GV1CBLH0419針螺旋接頭,帶4.0米(13.12英寸)聚氯乙烯護套電纜
GV1USBCVTUSB轉(zhuǎn)4線串行轉(zhuǎn)換器




產(chǎn)品咨詢

InVue? GV148 液體濃度監(jiān)測器

InVue GV148

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