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SOLARUS (955)Plasma Cleaning System等離子清洗儀

產(chǎn)品功能介紹
　　等離子清洗技術(shù)起源于約30年前的半導(dǎo)體行業(yè),等離子清洗主要用于清洗樣品表面的碳?xì)浠衔?等離子清洗的關(guān)鍵要點(diǎn)在于：不能改變樣品本身的化學(xué)組成;不能改變樣品的結(jié)構(gòu)特征；不能損傷樣品表面。
　　SOLARUS - 全新先進(jìn)等離子體清洗系統(tǒng)，去除碳?xì)浠衔飳?duì)TEM和SEM樣品臺(tái)或樣品的污染。Solarus是新一代等離子系統(tǒng)，其改造的新概念和技術(shù)令它具有更佳的性能，操作簡(jiǎn)便和良好的清洗效果。與市面上其他任何等離子清洗體系統(tǒng)相比，Solarus能提供***的清洗效果。
品牌介紹
　　美國(guó)GATAN公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的先進(jìn)性在全球電鏡界享有極高聲譽(yù)。
　　作為****的設(shè)計(jì)和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球物理學(xué)、電子學(xué)，能源科學(xué)等領(lǐng)域， 客戶范圍涵蓋全球的科研院所，高校，各類檢測(cè)機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，并且在國(guó)際科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同。
經(jīng)銷商介紹
　　歐波同有限公司是中國(guó)**的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的高新技術(shù)企業(yè)，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設(shè)有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國(guó)地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴，公司秉承“打造國(guó)內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營(yíng)理念，與蔡司，GATAN品牌強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，正在為數(shù)以萬(wàn)計(jì)的中國(guó)用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與國(guó)際尖端技術(shù)服務(wù)。
產(chǎn)品主要技術(shù)特點(diǎn)：
　　Solarus是一種獨(dú)特的清洗解決方案，它利用等離子配方，對(duì)于所有的樣品，包括Holey碳膜，都具有更快更徹底的清洗效果。該設(shè)備能安全地清洗掉表面沉積的污染物—擴(kuò)展了對(duì)已經(jīng)被污染的樣品的觀察時(shí)間。采用分子泵搭配多級(jí)隔膜泵的真空系統(tǒng)可確?？焖倏煽康某闅庑Ч?。不到1分鐘的抽氣與放氣時(shí)間，30秒--2分鐘的清洗時(shí)間，整個(gè)過(guò)程不用2分鐘。


使用等離子清洗的好處：
增強(qiáng)成像能力
提高元素分析的準(zhǔn)確性
在SEM中，延長(zhǎng)EDX和EBSD的觀察和采集時(shí)間
可使用更小的束斑，這對(duì)于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要。



產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

射頻源:  50瓦的射頻電源，具有功率自動(dòng)匹配功能
真空系統(tǒng)：70升/秒的分子泵搭配兩級(jí)隔膜泵
氣壓： 5E-6 Torr基本壓力，400mTorr工作壓力
真空規(guī)：緊湊的皮拉尼規(guī)
艙室：
    兩個(gè)前置接口能裝載TEM適配器，用于裝載側(cè)插TEM樣品桿和SEM樣品桿
    頂部入口用于放入SEM樣品臺(tái)，顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件
       艙室尺寸為3.5”直徑 x 2.0” 深度
    前置觀察窗能觀察工作時(shí)的等離子體發(fā)光
    內(nèi)置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開，抽真空時(shí)間不到1分鐘，放氣時(shí)間小于5秒。
氣體控制：采用精確的質(zhì)量流量計(jì)來(lái)測(cè)量及控制氣體流量
氣體種類：采用三路獨(dú)立氣體（H2，O2和Ar）
清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方，同時(shí)支持用戶自定義配方
用戶界面：采用交互式觸摸屏，提供包含有中文、英文等多種語(yǔ)言界面
電源：通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W

相比于傳統(tǒng)的等離子清洗儀，Solarus的主要優(yōu)勢(shì)：
1.)獨(dú)特的H2/O2配方
2.)更快的清洗周期（不到2分鐘）
3.)交互式的觸摸屏設(shè)計(jì)
4.)提供7種經(jīng)測(cè)試過(guò)的一鍵操作式配方
5.)2個(gè)用于裝載側(cè)插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口
6.)頂部裝樣口可裝載多個(gè)（>25）TEM微柵或者SEM樣品臺(tái)/樣品
7.)自動(dòng)匹配功率的射頻源確保等離子源的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定
8.)精確的氣體流量控制（質(zhì)量流量計(jì)）
9.)*小損傷的清洗Holey碳膜


10.)支持多種語(yǔ)言（英語(yǔ)、中文、日語(yǔ)、韓文、法語(yǔ)、德語(yǔ)）




產(chǎn)品主要應(yīng)用


去除碳?xì)浠衔飳?duì)TEM和SEM樣品臺(tái)或樣品的污染