壓電晶體生長爐

技術(shù)參數(shù)：

爐體內(nèi)腔尺寸：φ800mm×1000mm

外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm

**長晶尺寸：6英寸

籽晶軸提拉行程：450mm

提拉運(yùn)動(dòng)*小線速度：0.01mm/hr

快速提拉速度：200mm/min

籽晶軸轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0.1～100r/min

稱重系統(tǒng)：稱重傳感器量程20kg；信號(hào)放大器顯示精度0.01g

控制軟件：提拉法等徑控制軟件，采用上稱重方法來控制晶體直徑，晶體形狀可隨意設(shè)計(jì)，PID及運(yùn)動(dòng)參數(shù)可隨晶體形狀過渡變化，屏幕上數(shù)據(jù)交叉顯示提供生長過程中數(shù)據(jù)綜合分析工具。

加熱電源：中頻感應(yīng)加熱

加熱**輸出功率：30KW

真空系統(tǒng)：機(jī)械泵抽真空

水冷系統(tǒng)：爐腔、加熱線圈流量控制循環(huán)冷卻。