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非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

BTF-1200C-S-SL-CVD

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

貝意克

型號(hào)：

BTF-1200C-S-SL-CVD

關(guān)注度：

2035

產(chǎn)品介紹

一、主要特點(diǎn)

此款設(shè)備由電動(dòng)滑軌式管式爐、三路供氣系統(tǒng)、真空及過濾系統(tǒng)、前驅(qū)體鼓泡裝置，氣體預(yù)熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅(qū)體為非氣態(tài)源，如固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體，前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃，且溫度獨(dú)立可調(diào)，固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。

二、設(shè)備結(jié)構(gòu)

1.左右兩端進(jìn)氣抽氣可相互切換；提高基體上涂層的均勻性；

2.爐體底部在電機(jī)帶動(dòng)下可在導(dǎo)軌上水平移動(dòng)，移動(dòng)速度根據(jù)工藝需要可設(shè)置?！　?/span>

3.采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。

4.供氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗(yàn)需求配置幾路質(zhì)量流量計(jì)，流量計(jì)的量程可選，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。

三、技術(shù)參數(shù)：

加熱系統(tǒng)
使用溫度	1200℃（1 hour)
工作溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ40*800mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制）
爐膛材料	高純氧化鋁纖維
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定
控溫方式	操作界面為10”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序
加熱長(zhǎng)度	150mm
恒溫長(zhǎng)度	70mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	220V，50Hz
額定功率	2KW
三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型	Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)	100sccm，100sccm、200sccm；（可根據(jù)用戶要求定制）
準(zhǔn)確度	±1.5%
線性	±0.5～1.5%
重復(fù)精度	±0.2%
響應(yīng)時(shí)間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
**壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
真空機(jī)組
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m3/h
極限真空	5X10^-1Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進(jìn)排氣口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

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