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窯爐設(shè)備>
>高真空管式爐
高真空管式爐
直接聯(lián)系
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
山東
面議
育豪微電子
157
設(shè)備性能指標
1
工位數(shù)
1-2管(可依據(jù)實際生產(chǎn)工藝設(shè)計)
2
額定溫度
900℃
3
工藝溫度
500℃-800℃
4
加熱溫區(qū)段
3-5段獨立控溫,(可依據(jù)實際生產(chǎn)工藝設(shè)計)
5
系統(tǒng)極限真空度
≤5*10-4Pa
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磷化銦單晶生長爐
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略
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開啟式管式爐
RLY系列燃油熱風爐
RTO蓄熱式焚燒爐
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
RLY 系列
OTF-1200X-25-60
ZHK-B02123K-200
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