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磷化銦多晶合成爐

磷化銦多晶合成爐

直接聯(lián)系

青島育豪微電子設(shè)備有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

育豪微電子

型號：

磷化銦多晶合成爐

關(guān)注度：

86

產(chǎn)品介紹

設(shè)備性能指標(biāo)

1

操作方式

手動(dòng)

2

管路數(shù)

1管

3

加工晶圓尺寸

4-6寸

4

適用工藝

多晶合成

5

工藝溫度范圍

800-1250℃

6

恒溫區(qū)長度

300-800mm

7

控溫精度

±0.2℃/＞1280℃恒溫區(qū)內(nèi)

8

單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性

±0.2℃

9

溫度校準(zhǔn)功能

具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能


產(chǎn)品咨詢

磷化銦多晶合成爐

磷化銦多晶合成爐

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磷化銦多晶合成爐 - 86
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