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硅碳負(fù)極流化床氣相沉積爐

LHC-20

直接聯(lián)系

江西力信達(dá)高新裝備有限公司

江西贛州

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

力信達(dá)

型號：

LHC-20

關(guān)注度：

1196

產(chǎn)品介紹

一、設(shè)備簡介

碳基前驅(qū)體添加到流化床沉積爐內(nèi)，通入高溫氣體，硅烷高溫裂解，沉積在多孔碳的表面，得到包覆改性物料，相比傳統(tǒng)CVD爐氣固相接觸充分，包覆硅時(shí)包覆層比傳統(tǒng)工藝更均勻，反應(yīng)區(qū)的溫度控制均勻，溫度精度一致性更好。

二、技術(shù)參數(shù)

1. 載氣：N2、H2、Ar

2. 反應(yīng)氣體:CH4、C2H2、C3H6、SiH4等

3. 每批處理量： 10kg≤Q≤150kg

4. 操作溫度： ≤800℃

5. 操作壓力： ≤10Kpa

6. 卸料溫度： ≤200℃

7. 氧指數(shù)： ≤50ppm

產(chǎn)品咨詢

硅碳負(fù)極流化床氣相沉積爐

LHC-20

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