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連續(xù)送料出料回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD-AD2

BTF-1200C-R-PECVD-AD2

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽合肥

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

貝意克

型號(hào):

BTF-1200C-R-PECVD-AD2

關(guān)注度:

876

產(chǎn)品介紹

一、設(shè)備組成

設(shè)備組成部分包含:1)加熱系統(tǒng)2)Plasma系統(tǒng)3)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)4)爐管傾斜系統(tǒng)5)觸屏操作系統(tǒng)6)進(jìn)出料組件7)進(jìn)出氣法蘭組件8)爐管及安全保護(hù)組件 9)真空系統(tǒng)。10)場(chǎng)內(nèi)小電流裝置


二、結(jié)構(gòu)描述

1、加熱系統(tǒng):

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,該系統(tǒng)設(shè)置有超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。溫區(qū)為單溫區(qū),溫區(qū)長(zhǎng)440mm,異形石英管規(guī)格采用Φ60*Φ100*1200。

2、Plasma系統(tǒng):

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

3、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-20rpm連續(xù)可調(diào)。

4、攪拌轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-30rpm連續(xù)可調(diào)。

5、爐管傾斜系統(tǒng)可以大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-30°之間。

6、觸屏操作系統(tǒng):該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運(yùn)行,所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動(dòng)運(yùn)行:可實(shí)現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工作,可設(shè)置多工作段不同參數(shù),并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。

7、進(jìn)出料組件:進(jìn)料端由進(jìn)料罐+送料機(jī)構(gòu)組成,出料端由收集罐+手動(dòng)輔助升降組件組成

8、進(jìn)出氣法蘭組件:設(shè)備法蘭左端為進(jìn)氣端,一側(cè)配有截止閥控制的進(jìn)氣口,對(duì)接混氣罐輸出的氣體。另一側(cè)預(yù)留KF25接口。右端為出氣端,一側(cè)由球閥控制的出氣口,另一側(cè)為KF25抽口。

9、爐管及安全保護(hù)組件:爐管為異形石英管,通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現(xiàn)真空下的回轉(zhuǎn),設(shè)備左端法蘭配有SMC安全保護(hù)組件。

10、真空系統(tǒng):由一個(gè)PCG550真空計(jì)和一臺(tái)DRV16機(jī)械泵組成,抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制。

11、場(chǎng)內(nèi)小電流裝置:設(shè)備左端為正極:由不銹鋼桿和導(dǎo)電片組成;右端為負(fù)極,由不銹鋼導(dǎo)電片固定在送料桿端頭。正極配有外端接線棒。

 

本設(shè)備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式。機(jī)架采用深灰色、門板等采用時(shí)尚橘紋白。設(shè)備簡(jiǎn)約又不乏穩(wěn)重,更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。


三、技術(shù)參數(shù)

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V

**溫度

1200℃

使用溫度

950-1000℃

爐管尺寸

異型管Φ60x100x1200mm

爐管旋轉(zhuǎn)速率

0~20rpm

攪拌旋轉(zhuǎn)速率

0~30rpm

爐體傾斜角度

0~35°(可調(diào))

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

模糊PID控制和自動(dòng)整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

射頻功率范圍

0-500W

加熱長(zhǎng)度

440mm

恒溫長(zhǎng)度

200mm

加熱元件

電阻絲

升溫速率

0-20℃/min,建議10℃/min


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連續(xù)送料出料回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD-AD2

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