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1. 設(shè)備特點(diǎn)

        1. 高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，**真空可達(dá)10-4Pa；
        2. 可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力，實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
        3. 數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；
        4. 每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性；
        5. 采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
        6. 管路采用世界**Swagelok卡套連接，不漏氣；
        7. 超溫、過壓時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，使用安全可靠；
        8. PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，更容易發(fā)生反應(yīng)。

1. 設(shè)備參數(shù)