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臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；

采用智能壓力調(diào)控，壓力波動(dòng)??；

全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多通道工藝氣路，流程均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能高效收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；

可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時(shí)間短，生產(chǎn)效率高；

臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）產(chǎn)品規(guī)格

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。