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真空退火爐—VF-200

真空退火爐—VF-200

直接聯(lián)系

合肥致真精密設(shè)備有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

致真精密

型號:

真空退火爐—VF-200

關(guān)注度:

743

產(chǎn)品介紹

真空退火爐是改善薄膜質(zhì)量的有效手段,在特殊氣體氛圍下加熱還可以改善薄膜的組分。VF-200是致真設(shè)備公司推出的一款標(biāo)準(zhǔn)型退火爐,可與公司其他工藝腔體互聯(lián)實現(xiàn)薄膜的原位退火,也可以單獨使用。還可以選配磁鐵模塊實現(xiàn)對磁性薄膜的誘導(dǎo),系統(tǒng)搭配控制軟件,運行穩(wěn)定可靠!

性能參數(shù)

晶圓尺寸

1inch-8inch

極限真空

5×10-8mbar

溫控

RT-1200℃,精度±1℃

加熱方式

SIC輻射加熱

氣體氛圍

可在O2等環(huán)境下加熱

互聯(lián)

可與工藝腔體互聯(lián)實現(xiàn)自動傳輸

真空系統(tǒng)

機械泵+分子泵

可選

磁鐵模塊、進樣室、氣氛退火等


產(chǎn)品咨詢

真空退火爐—VF-200

真空退火爐—VF-200

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真空退火爐—VF-200 - 743
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