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晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM

直接聯(lián)系

合肥致真精密設(shè)備有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

致真精密

型號(hào)：

晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM

關(guān)注度：

812

產(chǎn)品介紹

晶圓真空傳輸平臺(tái)采用四邊形、六邊形或八邊形設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)工藝室的互聯(lián)，系統(tǒng)可選配機(jī)械臂和校準(zhǔn)裝置，可實(shí)現(xiàn)8或12吋晶圓的自動(dòng)傳輸。系統(tǒng)搭配控制軟件可實(shí)現(xiàn)安全可靠的控制。

性能參數(shù)

晶圓尺寸	8或12吋
極限真空	優(yōu)于5×10-7mbar
前端模塊	可選EFEM等
對(duì)接口	四個(gè)，六個(gè)，八個(gè)（可實(shí)現(xiàn)多套互聯(lián)）
機(jī)械臂	可選單臂和雙臂，定位精度±0.1mm
校準(zhǔn)裝置	對(duì)準(zhǔn)器，校準(zhǔn)傳感器
真空系統(tǒng)	機(jī)械泵+分子泵，可選離子泵等
控制系統(tǒng)	PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護(hù),真空互鎖等
標(biāo)準(zhǔn)	SEMI

產(chǎn)品咨詢

晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM

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