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分子束外延設(shè)備—MBE-400
面議
致真精密
分子束外延設(shè)備—MBE-400
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分子束外延設(shè)備是實(shí)驗(yàn)室中制備高性能單晶材料薄膜的核心設(shè)備,可用于制備高性能的氧化物材料、拓?fù)浣^緣體等。系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)方便后續(xù)升級維護(hù),可與我司其他設(shè)備互聯(lián)實(shí)現(xiàn)多種材料的沉積。
觀察窗擋板
傾斜式高溫樣品臺
蒸發(fā)源
圓形互聯(lián)設(shè)備(外置機(jī)械臂、內(nèi)置機(jī)械臂)
兩個鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
超高真空管道傳輸設(shè)備
晶圓真空傳輸平臺—VTM
量產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-200
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-UHV
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-HV
量產(chǎn)級多功能薄膜沉積設(shè)備
分子束外延設(shè)備—MBE-400
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
HSE系列等離子刻蝕機(jī)