粉體行業(yè)在線展覽
粉體行業(yè)在線展覽
閉管軟著陸擴(kuò)散爐
直接聯(lián)系
賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司
江蘇
面議
賽瑞達(dá)
閉管軟著陸擴(kuò)散爐
79
閉管軟著陸擴(kuò)散系統(tǒng)采用閉管擴(kuò)散的方式。碳化硅漿把石英舟放入石英管后再退出石英管,保證整個(gè)工藝過(guò)程完全不受外界環(huán)境干擾,工藝性能優(yōu)異。
控制系統(tǒng)特點(diǎn)
◎ 軟著陸裝置采用伺服控制,性能平穩(wěn)可靠、定位準(zhǔn)確、承重量大。
◎ 管內(nèi)壓力采用閉環(huán)控制,壓強(qiáng)穩(wěn)定。
◎ 工藝廢氣冷卻回收，保證工藝管道清潔。
◎ 高精度溫度控制技術(shù)，系統(tǒng)可自動(dòng)拉溫區(qū)。
★支持SECS/GEM通訊
主要技術(shù)指標(biāo)
Key technical parameters
◎ 工作溫度:600℃-1286℃
◎ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:300~1500mm
◎ 溫區(qū)精度:±0.5℃
◎ **可控升溫速率:15℃/min
◎ **可控降溫速率:5℃/min
◎ 裝片數(shù)量:400片管(特大產(chǎn)能)
晶圓工藝指標(biāo)
◎ 片內(nèi)均勻性:<2%
◎ 片間均勻性: <2%◎ 批間均勻性: <2%
◎ 2管、3管、4管分別可選;自動(dòng)裝載機(jī)械手可選。
★設(shè)備產(chǎn)能、性能、工藝指標(biāo)優(yōu)于同類進(jìn)口設(shè)備
產(chǎn)品咨詢
閉管軟著陸擴(kuò)散爐
請(qǐng)?zhí)顚懩男彰?
請(qǐng)?zhí)顚懩碾娫挘?
請(qǐng)?zhí)顚懩泥]箱：*
請(qǐng)?zhí)顚懩膯挝?公司名稱：*
請(qǐng)?zhí)岢瞿膯?wèn)題：*
您需要的服務(wù)：
中國(guó)粉體網(wǎng)保護(hù)您的隱私權(quán)：請(qǐng)參閱 我們的保密政策 來(lái)了解您數(shù)據(jù)的處理以及您這方面享有的權(quán)利。 您繼續(xù)訪問(wèn)我們的網(wǎng)站，表明您接受 我們的使用條款
