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低壓硼擴(kuò)散爐

低壓硼擴(kuò)散爐

直接聯(lián)系

賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

賽瑞達(dá)

型號(hào):

低壓硼擴(kuò)散爐

關(guān)注度:

89

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn)

◆產(chǎn)能:2200~2880pcs/管

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)

◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案

工藝規(guī)范

◆方阻值:50~350 Ω/cmsq

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)


產(chǎn)品咨詢

低壓硼擴(kuò)散爐

低壓硼擴(kuò)散爐

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請(qǐng)?zhí)顚懩碾娫挘?

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低壓硼擴(kuò)散爐 - 89
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