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臥式真空擴(kuò)散爐

直接聯(lián)系

青島育豪微電子設(shè)備有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

育豪微電子

型號：

臥式真空擴(kuò)散爐

關(guān)注度：

276

產(chǎn)品介紹

設(shè)備性能指標(biāo)
1	操作方式	根據(jù)客戶操作可定左/右手操作
2	管路數(shù)	1-4管
3	加工晶圓尺寸	4-8寸
4	適用工藝	擴(kuò)散（鎵擴(kuò)）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金
5	溫度校準(zhǔn)功能	具有自動(dòng)校準(zhǔn)溫區(qū)功能，具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能（選配）
6	控溫模式	Spike控溫+Profile串級控溫
7	控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)	一體工控機(jī)+PLC
8	系統(tǒng)極限真空度	＜10Pa
9	工作壓力范圍	100Pa-10Pa可調(diào)
10	報(bào)警保護(hù)	具有超溫報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動(dòng)等功能

產(chǎn)品咨詢

臥式真空擴(kuò)散爐

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