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SiC高溫氧化爐

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山東力冠微電子裝備有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價：

面議

品牌：

山東力冠

型號：

SiC高溫氧化爐

關(guān)注度：

297

產(chǎn)品介紹

專用于SiC晶圓的高溫氧化工藝，可實(shí)現(xiàn)晶圓片高溫真空環(huán)境下完成氧化工藝。

可使用O2,N2O，NO，NO2或濕法氧化，采用無金屬加熱和真空裝備。

產(chǎn)品咨詢

SiC高溫氧化爐

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SiC高溫氧化爐 - 297

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