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襯底:2/4/6/8英寸

Substrate size :2/4/6/8 inches　基板サイズ：２/4/6/８インチ

數(shù)量:1片/多片

Quantity:1pcs/multiple pcs　數(shù)量：１枚/複數(shù)枚

控溫精度:精度高，溫區(qū)穩(wěn)定性好

Temperature control precision : High temperature

 control precision and good statlity in temperature zone

溫度制御精度：高精密度、溫度帯での安定性が高い

結(jié)構(gòu):立式/臥式可選，滿足多種尺寸襯底多種

操作方式需要

Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.

構(gòu)造：縦型/橫型(オプション)、複數(shù)の基板サイズ及び動作モードのニーズに対応

安全保護功能:硬件保護+軟件互鎖

Security protection: Hardware protection+software interlock