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HORIBA JY在線橢偏儀In-situ series

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北京國嘉恒業(yè)科學儀器有限公司

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產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

558

產(chǎn)品介紹

儀器介紹:

在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學常數(shù)(n,k)變化。

技術(shù)參數(shù):

·可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化

主要特點:

將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實現(xiàn):

· 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化

· 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分

產(chǎn)品咨詢

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