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優(yōu)勢

· 納米級縱向分辨率，適合光滑表面測量分析
· 簡單、精確、快速、可重復(fù)的測量方式
· 可結(jié)合共焦顯微反射光譜測量

測量功能

· 表面三維粗糙度非接觸測量
· 表面微觀三維結(jié)構(gòu)測量
· 顯微反射光譜測量（選）
· 一鍵式快速測量

適用對象

· 精密光學(xué)元件，微納加工器件，金屬機加工零件等

測量原理

· 白光干涉顯微測量原理：采用白光光源，將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術(shù)相結(jié)合形成微觀三維輪廓，采用不同測量倍率物鏡，縱向測量分辨率均可達到亞納米量級
· 顯微光譜測量：選配光譜模塊可以實現(xiàn)表面微區(qū)光譜測量和厚膜測量功能

從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制，Micro1000 系統(tǒng)可以用于對從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進行表面微觀測量分析和粗糙度質(zhì)量評價。