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室溫自動探針臺，高可靠性探針臺系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子， 電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點，該平臺配備高精度位移臺，可實現(xiàn)X、Y、Z、 R等方向自動調(diào)整，各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。經(jīng)濟實用，穩(wěn)定性強，可升級擴展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價值，在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品特征

1、標(biāo)配4個探針臂，可提供4-8個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于5um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

2、顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物鏡時）， 視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

3、樣品座采用電機驅(qū)動，可實現(xiàn)快速于目鏡下尋找樣品，調(diào)節(jié)范圍：100mm*100mm*15mm*±180°。