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概述

nEXT400D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO160和CF160兩種入口法蘭接口，對N₂的抽速為400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù)，上軸承為**性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使其更加有效地實(shí)現(xiàn)分子拖曳行程，*終提高抽速和壓縮比，同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)了用戶自行維護(hù)。它們采用24V到48V直流無傳感器電機(jī)，內(nèi)置驅(qū)動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種**預(yù)設(shè)功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達(dá)到滿轉(zhuǎn)速的加速時(shí)間較長。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。

性能特點(diǎn)

• **的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)**的抽速和壓縮比

• 維護(hù)簡便，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)完成維護(hù)，無需復(fù)雜的工具或拆卸

• 設(shè)計(jì)緊湊，性能**，可以實(shí)現(xiàn)高效系統(tǒng)化

• 與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容，可加3個(gè)真空規(guī)，而無需額外控制器

• 符合RoHS，并通過CSA/UL認(rèn)可

技術(shù)指標(biāo)

*根據(jù)應(yīng)用可使用較小的前級泵，如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar，如XDD1。

? 如大于該入口壓力，轉(zhuǎn)速會降至標(biāo)稱轉(zhuǎn)速以下。

? 功率為160 W。

#空冷和水冷卻附件須單獨(dú)訂購。

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