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Edwards EXT75DX渦輪分子泵

直接聯(lián)系

北京帥恩科技有限責(zé)任公司

英國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

524

產(chǎn)品介紹

概述

EXT75DX分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，采用成熟的軸承技術(shù)，上軸承為**性磁懸浮軸承，下軸承為油潤(rùn)滑陶瓷軸承，并采用Holweck拖曳分級(jí)技術(shù)，可以DC 24V直接驅(qū)動(dòng)，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法蘭有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可選。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。

性能特點(diǎn)

智能控制，功耗低，減少運(yùn)行成本
與Edwards TIC渦輪與儀表控制器兼容，可以添加1~3真空規(guī)而無(wú)需額外真空控制器，可以連接冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)放氣閥
并行或串行接口：并行模式允許使用傳統(tǒng)控制模式；串行模式提供RS232接口，可以全面控制分子泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控放氣閥設(shè)置、運(yùn)行轉(zhuǎn)速、待機(jī)轉(zhuǎn)速、可編程功率設(shè)置、功耗、泵/控制器溫度
入口配有篩網(wǎng)
上軸承為**性磁懸浮軸承：無(wú)需清潔、振動(dòng)小、磨損低
配有手動(dòng)放氣閥（可選配電磁閥，用于全自動(dòng)放氣）
Holweck拖曳分級(jí)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力差
帶有吹掃口，提供制程氣體稀釋，以保護(hù)電機(jī)和下軸承

技術(shù)指標(biāo)

入口法蘭				DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K
出口法蘭				KF16
抽速			ISO63/63CF		DN40NW	ISO100
		N₂	61l/s		42l/s	66l/s
		He	57l/s		49l/s	59l/s
		H₂	53l/s		48l/s	54l/s
壓縮比		N₂		>1×10¹¹
		He		1×10⁶
		H₂		5×10⁴
極限真空	RV泵，ISO/CF			<5×10^-9/<5×10^-10 mbar
	隔膜泵，ISO/CF			<5×10^-8/<5×10^-9 mbar
推薦前級(jí)泵^*				RV5/nXDS6i
放氣口/吹掃口				1/8英寸BSP母螺紋
**連續(xù)入口壓力（輕質(zhì)氣體）^?
水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C）				2×10^-2 mbar
空冷（環(huán)境溫度35°C）				1×10^-2 mbar
泵轉(zhuǎn)速
標(biāo)稱轉(zhuǎn)速				90000rpm
待機(jī)轉(zhuǎn)速				49500~90000rpm可調(diào) （缺省63000 rpm）
功率范圍				50~120W可調(diào) （缺省80W）
90%轉(zhuǎn)速啟動(dòng)時(shí)間				110s^?
模擬輸出				泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度
冷卻方式^#				空冷/水冷
空冷環(huán)境溫度				5~35°C
*小水冷流速（15°C的水）				15l/ h
水溫范圍				10~20°C
入口法蘭**溫度				100°C
工作姿態(tài)				垂直、水平
噪聲（1m處）				<50dB(A)
**耐受磁場(chǎng)				5mT
推薦控制器				TIC100渦輪儀表控制器
穩(wěn)態(tài)功耗				10W

*根據(jù)應(yīng)用可使用較小的前級(jí)泵，如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar，如XDD1。

? 如大于該入口壓力，轉(zhuǎn)速會(huì)降至標(biāo)稱轉(zhuǎn)速以下。

? 功率為80 W。

#空冷和水冷卻附件須單獨(dú)訂購(gòu)。

訂貨信息

貨號(hào)	描述
B72241000	EXT75DX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭
B72242000	EXT75DX分子泵：DN63CF入口法蘭
B72243000	EXT75DX分子泵：DN40NW入口法蘭
B72245000	EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭
B72246000	EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭（DN25NW前級(jí)泵接口）
B72235000	EXT75iDX分子泵：DN40NW入口法蘭
B72237000	EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭
B72238000	EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭（DN25NW前級(jí)泵接口）

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