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快速退火爐

直接聯(lián)系

German First-Nano System 德國(guó)韋氏納米

法國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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643

產(chǎn)品介紹

AS-One系統(tǒng)有兩種型號(hào)： AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)

該快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的，高可靠且性價(jià)比高。

該工藝室采用貝殼式設(shè)計(jì)，可完全進(jìn)入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實(shí)際清潔腔體

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。

特征：
基本尺寸：	Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors
工藝腔體	運(yùn)用不銹鋼冷腔室壁技術(shù)
溫度范圍	標(biāo)準(zhǔn)配置：達(dá)到1250°C 高溫配置：達(dá)到1450°C
溫度控制	標(biāo)準(zhǔn)配置：熱電偶和高溫計(jì)用來(lái)測(cè)量溫度快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制
真空和氣體	*多可達(dá)5路帶MFC的工藝氣體，一路清潔氣體
電腦控制	全PC電腦控制，每個(gè)配方*多100步驟全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機(jī)界面設(shè)計(jì)
選項(xiàng)：
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件
應(yīng)用：

● 快速熱退火

● 快速熱氧化

● 擴(kuò)散/接觸時(shí)退火

● 化合物退火

● 結(jié)晶或致密化

我公司專業(yè)銷售Annealsys產(chǎn)品，并提供Annealsys產(chǎn)品的售前售后服務(wù)，如您對(duì)Annealsys產(chǎn)品感興趣，歡迎前來(lái)咨詢！

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快速退火爐

German First-Nano System 德國(guó)韋氏納米

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