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晶圓兆聲單面刷洗甩干機

直接聯(lián)系

聲達半導體設備（江蘇）有限公司

江蘇

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面議

品牌：

江蘇聲達

型號：

晶圓兆聲單面刷洗甩干機

關注度：

387

產品介紹

適用工件： (Applicable parts)	6寸/8寸藍寶石或碳化硅 6"/8“Sapphire or SiC Wafer
批量產能： (Capacity)	60s/pcs
工藝流程： (Procedure Flow)	上料→ 晶圓定位→旋轉刷洗及二流體噴洗(硅面)→翻轉180度→旋轉刷洗、兆聲波噴洗(碳面)→旋轉甩干→下料 Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluid spraying(Si side)→Turn over 180 degree→Rotation, brushing,cleaning,megasonic spraying(C side)→Rotation, Spin-Drying→Unload
主要材料： (Major Material)	金屬骨架+PP瓷白殼板 Metal Frame+PP white board
運送方式： (Transportation)	通過潔凈機械手進行晶圓傳輸 Wafer transported by clean robotic hand
工藝效果： (Process effect)	a.particle size0.3~0.5um,remove %>90%or <200e.a; b.particle size0.5~1um,remove%>95%or <10e.a。 PS:inspection machine is for Candela or SICA

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晶圓兆聲單面刷洗甩干機

聲達半導體設備（江蘇）有限公司

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