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>陶瓷盤清洗機

陶瓷盤清洗機

陶瓷盤清洗機

直接聯(lián)系

蘇州辰軒光電科技有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

蘇州辰軒

型號:

陶瓷盤清洗機

關(guān)注度:

493

產(chǎn)品介紹

|  應(yīng)用領(lǐng)域
       應(yīng)用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化鎵(GaN)等半導(dǎo)體材料的刷洗,同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶等材料。

 

|  設(shè)備特點
陶瓷盤豎直清洗,可減少設(shè)備的占地面積。
采用超聲波清洗,可較大限度避免損傷陶瓷盤面。
自動上/下料系統(tǒng)及12片容量的陶瓷盤推車,可提高效率減少人工。
搬移機械手單獨上下移動,可增強陶瓷盤清洗效果。

 

|  設(shè)備參數(shù)

設(shè)備型號

CX-BE05

適應(yīng)產(chǎn)品

陶瓷盤 Φ360mm

陶瓷盤 Φ485mm

洗槽數(shù)量

3槽

超聲波洗槽數(shù)量

2槽

藥液洗槽數(shù)量

1槽

洗槽循環(huán)流量

20L/min

洗槽材質(zhì)

SUS316

連續(xù)作業(yè)時間

約3~4分鐘/盤(具體視工藝而定)

設(shè)備尺寸

W4965mm * L2100mm * H2605mm

設(shè)備重量

約3000kg

瓷盤車容量

12片

自動上下瓷盤

水槍

1個

搬移機械手上下

伺服電機+滾珠絲杠+滾動導(dǎo)軌

搬移機械手左右

伺服電機+齒輪齒條+滾動導(dǎo)軌

進盤翻轉(zhuǎn)機構(gòu)

氣缸

出盤翻轉(zhuǎn)機構(gòu)

減速電機

設(shè)備使用條件

電源

AC380, 50Hz,三相四線制

總?cè)萘?/span>

70kw

氣源接口

3/4

進水接口

3/4

排水接口

1 +1/2

排氣

正壓排氣5″


產(chǎn)品咨詢

陶瓷盤清洗機

陶瓷盤清洗機

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陶瓷盤清洗機 - 493
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