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全自動(dòng)晶圓刷洗機(jī) TSC-150C

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北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

北京

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全自動(dòng)晶圓刷洗機(jī) TSC-150C

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產(chǎn)品介紹

全自動(dòng)晶圓刷洗機(jī)

TSC-150C/200C/200L

該系列設(shè)備是晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，集成全自動(dòng)上下料系統(tǒng)、雙面PVA刷洗、兆聲清洗、甩干&N2吹干等單元，集成度高，濕/干進(jìn)干出，適用于各種半導(dǎo)體晶圓拋光后的清洗。

TSC-150CTSC-200CTSC-200L

清洗工位皮帶傳送式6工位

晶圓尺寸3-6英寸

刷洗工位*22個(gè)PVA刷，雙面刷洗

Features

產(chǎn)品特點(diǎn)

清洗工藝

預(yù)清洗/雙面刷洗/漂洗/兆聲/吹干/甩干

刷子類型

PVA 刷雙面刷洗

PLC控制系統(tǒng)

觸摸屏操作

全自動(dòng)系統(tǒng)

皮帶傳動(dòng) Cassette in/out 干進(jìn)干出

產(chǎn)品咨詢

全自動(dòng)晶圓刷洗機(jī) TSC-150C

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