產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)	AW-LP01
外形尺寸(不含報(bào)警燈塔)	L350×W350×H70(mm)
腔體尺寸	350(L)×350(W)×70(H)mm(可根據(jù)客戶要求進(jìn)行調(diào)整)
等離子體發(fā)生器	頻率13.56MHz,功率0-600W/1000W可調(diào)，自動(dòng)阻抗匹配
載盤尺寸	L200×W120×H20(mm)(可根據(jù)客戶要求進(jìn)行調(diào)整)
真空系統(tǒng)	油泵/干泵可選，進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥，高精度真空計(jì)
氣路系統(tǒng)	MFC質(zhì)量流量計(jì)控制，氣體流量0-200ml/min可調(diào)，不銹鋼拋光氣體管路及接口組件
控制系統(tǒng)	觸摸屏+PLC全自動(dòng)控制，手動(dòng)+自動(dòng)兩種操作模式(可選配工控機(jī)，實(shí)現(xiàn)MES系統(tǒng)連接)
備注	可按客戶需求彈性設(shè)計(jì)

產(chǎn)品咨詢

AW-LP系列連續(xù)式射頻等離子清洗機(jī)

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