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多功能高級(jí)磁控濺射噴金儀—nanoEM

nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種專用樣品臺(tái)，滿足各種高精度的噴金或電極生長(zhǎng)需求。除了濺射金屬電極外，nanoEM還具有極大的拓展空間，雖然作為臺(tái)式設(shè)備，nanoEM配備了輸出功率可達(dá)300W的濺射源，系統(tǒng)還可選擇樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動(dòng)壓強(qiáng)控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿足學(xué)術(shù)研究的多種樣品生長(zhǎng)需求，可升級(jí)成為一臺(tái)多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實(shí)驗(yàn)室的青睞。

主要特點(diǎn)：

◎ 能夠達(dá)到學(xué)術(shù)研究級(jí)的多功能?chē)娊饍x

◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種專用樣品臺(tái)可選

◎ 可安裝兩個(gè)2英寸濺射源

◎ 通用的濺射靶材

◎ 本底真空<5×10^-7 mbar

◎ 流量計(jì)精確控制生長(zhǎng)氣氛

◎ 可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達(dá)300W

◎ 全自動(dòng)，引導(dǎo)式觸屏控制

◎ 氣壓全自動(dòng)控制系統(tǒng)

◎ 濺射源擋板

◎ 等離子體輝光電極

◎ 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)與傾斜

◎ 晶振膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

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