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儀器簡(jiǎn)介：

加拿大Johnsen Ultravac Inc.（JUV）成立于1961，以其優(yōu)異的性能與表現(xiàn)在全球范圍內(nèi)贏得了良好的聲譽(yù)，被譽(yù)為超高真空領(lǐng)域設(shè)備制造商中的“奧德賽”！多年來(lái)，JUV一直保持著極高標(biāo)準(zhǔn)，成功地將用戶的要求轉(zhuǎn)化為高級(jí)的科研設(shè)備，同時(shí)也為科研、商業(yè)及工業(yè)等領(lǐng)域輸出了大量的精密超高真空儀器。

技術(shù)參數(shù)：

該系統(tǒng)包括一個(gè)外徑為10’’的圓柱形真空腔體，配有：分子泵、真空閥門(mén)、兩個(gè)樣品操作臺(tái)、帶開(kāi)閉器的高純藍(lán)寶石觀察窗、靶架（Target Holder）和襯底架。用戶可以任意選擇六個(gè)靶中的其中一個(gè)，將其沉積到直徑為2-3’’的圓形襯底上。在激光沉積過(guò)程中，襯底可以進(jìn)行加熱。襯底通過(guò)快速進(jìn)樣室引入到主真空腔中。系統(tǒng)的真空度好于2×10-10Torr。

主要特點(diǎn)：

從概念的提出，到設(shè)計(jì)、加工和安裝，Johnsen Ultravac公司的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員能根據(jù)用戶的具體要求，設(shè)計(jì)制造出滿足任何應(yīng)用的系統(tǒng)。多年來(lái)積累的經(jīng)驗(yàn)使Johnsen Ultravac為用戶制造出配置復(fù)雜的腔體、快速進(jìn)樣室、樣品傳送裝置、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、升起/擺動(dòng)機(jī)械裝置、自動(dòng)電子控制的水/氣分配系統(tǒng)等。