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Harrick等離子清洗機PDC-32G-2

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四川威斯派克科技有限公司

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575

產品介紹

產品名稱:Harrick PDC-32G-2

產品編號:

產品規(guī)格:

型號規(guī)格:PDC—32G-2

整機規(guī)格:8.5×10×8(長×寬×高)英寸 (216×254×203)mm

反應艙規(guī)格:Φ3×L6.5英寸耐熱玻璃 (Φ76×L165)mm

反應艙有效容積:0.75L

輸入電源:220 V/50Hz

整機輸入功率:100 W

射頻輸出檔:低檔680V DC、10mA DC、6.8W/中檔700V DC、15mA DC、10.5W/高檔720V DC、25mA DC、18W

常用工作氣體:空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等

特征:緊湊的臺式設備,應用一個**功率為18瓦的RF線圈,沒有RF幅射,符合CE安全標準。艙蓋可拆卸。

選配件:石英等離子清洗艙

提供各自計量兩種不同氣體進氣和監(jiān)測壓力的氣體計量混合器Plasma FloTM

需要:兼容的真空泵,*小速率為1.4 m3/hr,**極限為200 MTorr

包括:1/8英寸NPT針閥束引入氣體和控制壓力

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Harrick等離子清洗機PDC-32G-2

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