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多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM

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多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM

nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種專用樣品臺，滿足各種高精度的噴金或電極生長需求。除了濺射金屬電極外，nanoEM還具有極大的拓展空間，雖然作為臺式設(shè)備，nanoEM配備了輸出功率可達300W的濺射源，系統(tǒng)還可選擇樣品臺旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動壓強控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿足學(xué)術(shù)研究的多種樣品生長需求，可升級成為一臺多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實驗室的青睞。

主要特點：

◎ 能夠達到學(xué)術(shù)研究級的多功能噴金儀

◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種專用樣品臺可選

◎ 可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達300W

◎ 晶振膜厚監(jiān)測系統(tǒng)

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