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【SuPro】ISC150 T高真空離子濺射儀

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深圳市速普儀器有限公司

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產(chǎn)品介紹

ISC150離子濺射儀升級(jí)版本，采用無油隔膜泵+分子泵獲得高真空環(huán)境，保證樣品噴金處理過程不會(huì)產(chǎn)生二次污染。特別適用于追求高分辨率FE-SEM樣品的噴金噴鉑，EDS和EBSD噴碳，光電薄膜制備，電極材料制備及其他金屬鍍膜用途。

本離子濺射儀主要的特點(diǎn)就是“無油，高真空”，制備薄膜純度更高，薄膜質(zhì)量更優(yōu)；并且能夠在超凈間內(nèi)使用。

另外附加原位等離子清洗選配模塊，針對(duì)SEM樣品清除碳?xì)湮廴荆ㄓ袡C(jī)物積碳污染），實(shí)現(xiàn)樣品表面活化和親水化處理。

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【SuPro】ISC150 T高真空離子濺射儀

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