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此款小型離子濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡(jiǎn)單方便，是配合SEM 制樣必備的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空，在 20Pa 真空保護(hù)。同時(shí)，配有專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置，以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

主要特點(diǎn)：

2顯示操作面為60°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺(jué)體驗(yàn)，方便觀察操作；

2真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

2微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識(shí)；

2真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

2控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；

2顯示控制操作部分布局合理，位于同側(cè)，使用方便；

2結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，布局合理，維修操作空間大；

技術(shù)參數(shù)：

1.玻璃處理室：Φ108mm，高度135mm;

2.試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm，可同時(shí)放6個(gè)樣品杯；

3.金靶尺寸：Φ57mm;

4.真空系統(tǒng)：靜音直聯(lián)旋片真空泵2L/S；

5.真空檢測(cè)：定制皮氏計(jì)，配合真空指針表，靈敏可靠；

6.真空保護(hù)：20pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空；

7.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣節(jié)；