久久综合久久美利坚中国_中曰韩无码视频_久久97久久97精品免视看_黄网址免费永久在线观看免费

粉體行業(yè)在線展覽

產(chǎn)品

產(chǎn)品>

分析儀器設(shè)備>

制樣/消解設(shè)備

>全自動腐蝕機

全自動腐蝕機

全自動腐蝕機

直接聯(lián)系

山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

山東聯(lián)盛

型號:

全自動腐蝕機

關(guān)注度:

298

產(chǎn)品介紹

1、 晶圓槽式浸泡式腐蝕清洗,特制轉(zhuǎn)籠晶圓自動旋轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)。

2、 工藝結(jié)果具備高度的均勻一致性,確保腐蝕效果。

3、 工藝過程中完全自動化控制,自主研發(fā)控制系統(tǒng),友好的人機交互界面。

4、 氮氣鼓泡功能,運行中氮氣管路可在酸槽內(nèi)平行均勻移動,鼓泡速率可調(diào)節(jié)。

5、 化學(xué)藥液多級精細過濾,循環(huán)利用并自動補液功能。

6、 具有MES系統(tǒng)的信息交互通訊能力。

7、 化學(xué)藥液具備InLine加熱冷卻恒溫功能。

8、 配置完善的晶圓倒片專用裝置。

9、 提供標(biāo)準(zhǔn)的制程解決方案。

10、清洗機通過硬件、軟件配置來較大限度的保護硅片,在異常狀況下設(shè)備出現(xiàn)Down機,立刻調(diào)動機械手將硅片從化學(xué)藥液槽中取出,放至QDR水槽中沖洗,能夠避免化學(xué)藥液對硅片的過度腐蝕。在極端條件下,機械手出現(xiàn)Down機,設(shè)備立刻將化學(xué)藥液槽中的化學(xué)藥液排掉,然后注入UPW,從而也能減小化學(xué)藥液對硅片的過度腐蝕。

11、加工能力: 晶片直徑4英寸至12英寸,每次數(shù)量75片/6英寸,50片/8英寸/12英寸

腐蝕精度: 平整度增量δTTV≤1.5μm。

使用領(lǐng)域: 晶圓減薄,表面腐蝕。


產(chǎn)品咨詢

全自動腐蝕機

全自動腐蝕機

請?zhí)顚懩男彰?

請?zhí)顚懩碾娫挘?

請?zhí)顚懩泥]箱:*

請?zhí)顚懩膯挝?公司名稱:*

請?zhí)岢瞿膯栴}:*

您需要的服務(wù):

發(fā)送

中國粉體網(wǎng)保護您的隱私權(quán):請參閱 我們的保密政策 來了解您數(shù)據(jù)的處理以及您這方面享有的權(quán)利。 您繼續(xù)訪問我們的網(wǎng)站,表明您接受 我們的使用條款

全自動腐蝕機 - 298
山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司 的其他產(chǎn)品

FLOW

制樣/消解設(shè)備
相關(guān)搜索
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
成為參展商

© 2025 版權(quán)所有 - 京ICP證050428號