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性能

• 可用量程：**0-1000 slpm；*小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）

• 可調(diào)比：200:1

• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 可重復(fù)性：0.2%滿量程

• 標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：5-10ms

• 無需預(yù)熱時間

• 
  

工作條件

• 兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體校準；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

• 工作溫度：-10°C至+60°C

• **內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）

• **差壓（進口至出口）：15 psid

• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）