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玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備
面議
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玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備
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玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備 | |
型號 | NOVA-2000-G |
晶圓類型 | 玻璃晶圓襯底、圖形晶圓 |
晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相鄰尺寸) |
檢測方式 | 明場、暗場、微分干涉 |
分辨率 | 10μm -0.5μm |
鏡頭 | 1X,2X5X,10X,20X,50X |
檢測缺陷類型 | 劃痕,麻點(diǎn),顆粒物,污染,崩邊等 |
產(chǎn)率 | ≥12WPH(@8英寸晶圓,分辨率1μm) |
≥7WPH(@12英寸晶圓,分辨率1μm) | |
自動化 | 2 LoadPort |
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