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大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀

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合肥知常光電科技有限公司

安徽

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品牌：

知常光電

型號：

大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀

關注度：

產(chǎn)品介紹

大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀
型號	MMDI-2000-LA
樣品尺寸	≤500mm x 500mm
檢測模式	激光散射、光熱吸收、明場顯微成像、暗場顯微成像、激光共聚焦顯微成像五種?？筛鶕?jù)用戶需求定制不同組合模式
缺陷檢測靈敏度	≤0.3μm
光熱吸收檢測靈敏度	10ppb
光熱吸收缺陷檢測靈敏度	≤10μm
光熱吸收泵浦光源	355nm、532nm、1064nm或定制波長
顯微成像檢測橫向分辨率	≤1μm
激光共聚焦缺陷檢測靈敏度	≤0.3μm
激光共聚焦缺陷橫向分辨率	≤0.5μm
激光共聚焦缺陷縱向分辨率	≤1μm

大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀(MMDI-2000-LA)，結合全口徑缺陷快速識別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測方式，可利用激光散射對大口徑光學元件進行全口徑快速掃描成像，對缺陷尺度、位置、形態(tài)進行統(tǒng)計分析，并結合使用光熱弱吸收、明場顯微成像、暗場顯微成像、激光共聚焦顯微成像等不同模態(tài)檢測用戶關注缺陷區(qū)域，獲得關注區(qū)域的缺陷信息。

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大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀

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