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鈮（鉭）酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備

直接聯(lián)系

合肥知常光電科技有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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面議

品牌：

知常光電

型號(hào)：

鈮（鉭）酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備

關(guān)注度：

123

產(chǎn)品介紹

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備(NOVA-2000-LN)，是用于鈮酸鋰、鉭酸鋰等襯底晶圓的缺陷檢測(cè)設(shè)備，可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工藝類型，可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷，對(duì)晶圓的質(zhì)量控制具有重要作用。

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備(NOVA-2000-LN)集成明場、暗場等多種檢測(cè)模式，對(duì)各類缺陷提供可靠的缺陷信息，結(jié)合缺陷自動(dòng)檢測(cè)與分類算法，提取包括缺陷類型、尺寸、坐標(biāo)、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等在內(nèi)的各頂缺陷數(shù)據(jù)，生成晶圓缺陷檢測(cè)報(bào)告，供用戶進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估和判定。

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備
型號(hào)	NOVA-2000-LN/LT
晶圓類型	鈮(鉭)酸鋰拋光襯底，黑化、半黑化、全透明等
晶圓尺寸	4寸、6寸、8寸
檢測(cè)方式	明場、暗場
產(chǎn)率	≥20WPH(@6英寸晶圓，分辨率1μm)
產(chǎn)率	≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm)
自動(dòng)化	2 LoadPort

產(chǎn)品咨詢

鈮（鉭）酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備

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