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基于X射線的晶圓級(jí)抗輻照電路測(cè)試系統(tǒng)是由深圳市易捷測(cè)試技術(shù)有限公司設(shè)計(jì)開發(fā)。采用10keV X射線作為輻射源開展效應(yīng)試驗(yàn)，不僅易于實(shí)施，節(jié)省資金，在器件封裝前即可對(duì)器件的抗輻射水平給出評(píng)估，是一種可行的評(píng)估器件總劑量水平的手段。

10keV X射線輻射源系統(tǒng)可以用于完成：

• 特定結(jié)構(gòu)器件的基本輻射響應(yīng)分析

• 用過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié)果跟蹤給定工藝的加固情況

• 迅速提高批量生產(chǎn)的芯片的加固情況反饋。

相對(duì)60Co γ射線輻射源而言，基于X射線的晶圓級(jí)抗輻照電路測(cè)試系統(tǒng)體積小，占地面積小，適合于實(shí)驗(yàn)室與工廠的生產(chǎn)線上使用，而且操作簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)方便，通過(guò)面板進(jìn)行參數(shù)設(shè)置與操作，可精確控制輻射劑量率，且可調(diào)輻射劑量率范圍較大。設(shè)備安全性好，儀器周邊的輻射量與普通環(huán)境無(wú)差別。