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Carbon Coater鍍碳儀108C Auto

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廣州競贏科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品介紹

108C Auto鍍碳儀是一個緊湊的，易于使用的鍍碳儀，主要用來給不導(dǎo)電的樣品鍍一層碳膜，用于掃描電鏡能譜分析的*成熟的鍍碳儀之一。

主要特性

l獨(dú)特的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚大約20nm左右進(jìn)行多次蒸發(fā)，無須切削或調(diào)整碳棒形狀。

l108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。該鍍膜系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。

l使用新型的蒸發(fā)裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低，碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過脈沖或連續(xù)的方式操作。

l可選擇手動或自動方式操作。

l自動模式下，蒸發(fā)源按程序設(shè)定的電壓和時間進(jìn)行噴鍍。手動模式下，獨(dú)特的設(shè)計(jì)允許以脈沖或連續(xù)的方式操作，并通過旋鈕控制輸出電壓。

l可配備MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀（選件）。分辨率優(yōu)于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范圍內(nèi)，重現(xiàn)性可優(yōu)于5％。

技術(shù)參數(shù)
樣品室大小	直徑120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
蒸發(fā)源	Bradley型 (6.15mm rods)，高強(qiáng)度不銹鋼結(jié)構(gòu)
蒸發(fā)控制	基于微處理器的反饋回路控制，能夠進(jìn)行遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)，基于真空水平變量的安全互鎖功能，zui大電流180A，提供過流保護(hù)
樣品臺	可裝置12個樣品座，高度在30mm范圍內(nèi)可調(diào)
模擬計(jì)量	真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A
厚度監(jiān)控	MTM-10 高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件)
控制方法	自動蒸發(fā)控制，使用程序設(shè)定的電壓和時間以脈沖或連續(xù)方式進(jìn)行完全手動控制數(shù)字定時器（0－10s）數(shù)字電壓設(shè)置（0.1 to 6.0V）
真空系統(tǒng)
真空泵	2級直連式高速真空泵
抽氣速率	3.0 m3/小時，真空度到 0.1mb所需時間30秒.
極限真空	5 x 10-3mba
桌上系統(tǒng)	真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)

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