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108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的離子濺射鍍膜儀，它可以手動(dòng)或者自動(dòng)操作，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

• 自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和**的導(dǎo)電噴鍍效果。

• 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

• 操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

• 在自動(dòng)模式下，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

• 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。

• 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動(dòng)停止噴鍍過程。

• 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

技術(shù)參數(shù)